Triklorosilana

Triklorosilana adalah senyawa anorganik dengan rumus HSiCl₃. Senyawa ini merupakan cairan yang tidak berwarna dan tidak stabil. Triklorosilana yang telah dimurnikan merupakan pendahulu silikon yang sangat murni dalam industri semikonduktor. Jika dicampur dengan air, triklorosilana akan langsung berdekomposisi menjadi polimer silikon dan asam klorida. Triklorosilana sangat reaktif, sehingga sering digunakan dalam proses sintesis senyawa organik yang mengandung silikon.

Triklorosilana

Nama
Nama IUPAC Triklorosilana
Nama lain silil triklorida, silikokloroform
Penanda
Nomor CAS	10025-78-2^Y
Model 3D (JSmol)	Gambar interaktif
3DMet	{{{3DMet}}}
ChemSpider	23196^Y
Nomor EC
PubChem CID	24811
Nomor RTECS	{{{value}}}
UNII	QZY2645L6V^N
Nomor UN	1295
CompTox Dashboard (EPA)	DTXSID4029301
InChI InChI=1S/Cl3HSi/c1-4(2)3/h4H^Y Key: ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N^Y InChI=1/Cl3HSi/c1-4(2)3/h4H Key: ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYAH
SMILES Cl[SiH](Cl)Cl
Sifat
Rumus kimia	HCl3Si
Massa molar	135,45 g/mol
Penampilan	colourless liquid
Densitas	1.342 g/cm^3
Titik lebur	−1.266 °C (−2.247 °F; −993 K)
Titik didih	318 °C (604 °F; 591 K)
Kelarutan dalam air	hidrolisis
Bahaya
Lembar data keselamatan	ICSC 0591
Klasifikasi UE (DSD) (usang)	Sangat mudah terbakar (F+) Berbahaya (Xn) Korosif (C)
Frasa-R	R12, R14, R17, R20/22, Templat:R29, R35
Frasa-S	S2, S7/9, S16, S26, S36/37/39, S43, S45
Titik nyala	−27 °C (−17 °F; 246 K)
Suhu swasulut	185 °C (365 °F; 458 K)
Ambang ledakan	1.2–90.5%
Senyawa terkait
Related klorosilana	Klorosilana Diklorosilana Diklorometilsilana Klorodimetilsilana Silikon tetraklorida
Senyawa terkait	Trifluorosilana Tribromosilana Kloroform
Kecuali dinyatakan lain, data di atas berlaku pada suhu dan tekanan standar (25 °C [77 °F], 100 kPa).
N verifikasi (apa ini ^YN ?)
Referensi

Produksi

Triklorosilana diproduksi dari reaksi silikon dengan asam klorida pada suhu 300 °C. Hidrogen juga dihasilkan dalam prosesnya.

Produk sampingan utama dalam reaksi ini adalah silikon tetraklorida (rumus kimia SiCl₄), heksaklorodisilana (Si₂Cl₆), dan diklorosilana (H₂SiCl₂). Triklorosilana dapat dipisahkan lewat proses distilasi.

Triklorosilana juga dapat dihasilkan dari silikon tetraklorida:

Kegunaan

Triklorosilana adalah bahan dasar yang digunakan dalam proses produksi polisilikon yang telah dimurnikan.

Bahan hidrosililasi

Lewat proses hidrosililasi, triklorosilana merupakan pendahulu senyawa organosilikon lainnya yang berguna:

Referensi

1. Lianhong Xu, Ravi Kurukulasuriya, "Trichlorosilane" Encyclopedia of Reagents for Organic Synthesis, 2006. doi:10.1002/047084289X.rt213.pub2
2. Simmler, W. (2005), "Silicon Compounds, Inorganic", Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry, Weinheim: Wiley-VCH, doi:10.1002/14356007.a24_001 

• Semiconductors: Silicon: Substrate Manufacture: Polycrystalline silicon Production