www.wikidata.id-id.nina.az

MEMS Artikel atau sebagian dari artikel ini mungkin diterjemahkan dari Microelectromechanical systems di en wikipedia or

MEMS

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) adalah reraga/struktur peralatan elektro-mekanik terdiri dari sensor mikro, aktuator mikro dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu (IC). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon.

Tungau dengan ukuran kurang dari 1 mm berada pada peralatan MEMS

Contoh aktuator mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet) mikro, dan motor ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini, pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "Lab on Chip". Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai DNA chip.

Sejarah sunting

Contoh awal dari perangkat MEMS adalah transistor gerbang resonansi, sebuah adaptasi dari transistor MOS yang dikembangkan oleh Harvey C. Nathanson pada tahun 1965. Contoh awal lainnya adalah resonistor, sebuah resonator monolitik elektromekanis yang dipatenkan oleh Raymond Wilfinger antara tahun 1966 dan 1971. Pada tahun 1970-an dan awal 1980-an, beberapa mikrosensor pada MOSFET dikembangkan untuk mengukur parameter fisik, kimia, biologi, dan lingkungan. Pada tahun 1997, produk komersial pertama yang menggunakan teknologi MEMS diperkenalkan: kartrid printer inkjet yang diproduksi oleh Hewlett-Packard.


Jenis sunting

Ada dua jenis utama teknologi sakelar MEMS: kapasitif dan ohmik. Sakelar MEMS kapasitif dirancang menggunakan pelat bergerak atau elemen penginderaan yang mengubah kapasitansi. Sakelar ohmik dikendalikan oleh kantilever yang digerakkan secara elektrostatis Sakelar MEMS ohmik dapat rusak karena kelelahan logam aktuator MEMS-(kantilever) dan keausan kontak karena kantilever dapat berubah bentuk dari waktu ke waktu.

Referensi sunting

  1. "A resonant‐gate silicon surface transistor with high‐q band‐pass properties". pubs.aip.org. Diakses tanggal 2023-10-13. 
  2. "Electromechanical monolithic resonator". patents.google.com. Diakses tanggal 2023-10-13. 
  3. "The Resonistor: A Frequency Selective Device Utilizing the Mechanical Resonance of a Silicon Substrate". ieeexplore.ieee.org. Diakses tanggal 2023-10-13. 
  4. "The impact of MOSFET-based sensors". www.sciencedirect.com. Diakses tanggal 2023-10-13. 
  5. "Why MEMS Matter: The Tiny Tech Transforming Our World". partstack.com. Diakses tanggal 2023-10-13. 
  6. "MEMS technology is transforming high-density switch matrices". www.electronicdesign.com. Diakses tanggal 2023-10-13. 
wikipedia, wiki, buku, buku, perpustakaan, artikel, baca, unduh, gratis, unduh gratis, mp3, video, mp4, 3gp, jpg, jpeg, gif, png, gambar, musik, lagu, film, buku, permainan, permainan.
Tanggal penerbitan:
Artikel atau sebagian dari artikel ini mungkin diterjemahkan dari Microelectromechanical systems di en wikipedia org Isinya masih belum akurat karena bagian yang diterjemahkan masih perlu diperhalus dan disempurnakan Jika Anda menguasai bahasa aslinya harap pertimbangkan untuk menelusuri referensinya dan menyempurnakan terjemahan ini Anda juga dapat ikut bergotong royong pada ProyekWiki Perbaikan Terjemahan Pesan ini dapat dihapus jika terjemahan dirasa sudah cukup tepat Lihat pula panduan penerjemahan artikel MEMS Micro Electro Mechanical Systems adalah reraga struktur peralatan elektro mekanik terdiri dari sensor mikro aktuator mikro dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu IC Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon Tungau dengan ukuran kurang dari 1 mm berada pada peralatan MEMSContoh aktuator mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro pemancar jet mikro dan motor ukuran mikro Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan sensor temperatur dan sensor aliran dalam ukuran mikro Dengan teknologi ini pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai Lab on Chip Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai DNA chip Sejarah suntingContoh awal dari perangkat MEMS adalah transistor gerbang resonansi sebuah adaptasi dari transistor MOS yang dikembangkan oleh Harvey C Nathanson pada tahun 1965 1 Contoh awal lainnya adalah resonistor sebuah resonator monolitik elektromekanis yang dipatenkan oleh Raymond Wilfinger antara tahun 1966 dan 1971 2 3 Pada tahun 1970 an dan awal 1980 an beberapa mikrosensor pada MOSFET dikembangkan untuk mengukur parameter fisik kimia biologi dan lingkungan 4 Pada tahun 1997 produk komersial pertama yang menggunakan teknologi MEMS diperkenalkan kartrid printer inkjet yang diproduksi oleh Hewlett Packard 5 Jenis suntingAda dua jenis utama teknologi sakelar MEMS kapasitif dan ohmik Sakelar MEMS kapasitif dirancang menggunakan pelat bergerak atau elemen penginderaan yang mengubah kapasitansi Sakelar ohmik dikendalikan oleh kantilever yang digerakkan secara elektrostatis Sakelar MEMS ohmik dapat rusak karena kelelahan logam aktuator MEMS kantilever dan keausan kontak karena kantilever dapat berubah bentuk dari waktu ke waktu 6 Referensi sunting A resonant gate silicon surface transistor with high q band pass properties pubs aip org Diakses tanggal 2023 10 13 Electromechanical monolithic resonator patents google com Diakses tanggal 2023 10 13 The Resonistor A Frequency Selective Device Utilizing the Mechanical Resonance of a Silicon Substrate ieeexplore ieee org Diakses tanggal 2023 10 13 The impact of MOSFET based sensors www sciencedirect com Diakses tanggal 2023 10 13 Why MEMS Matter The Tiny Tech Transforming Our World partstack com Diakses tanggal 2023 10 13 MEMS technology is transforming high density switch matrices www electronicdesign com Diakses tanggal 2023 10 13 Diperoleh dari https id wikipedia org w index php title MEMS amp oldid 24527066