Sebuah kamar bersih adalah lingkungan produksi yang memiliki polutan lingkungan tingkat rendah seperti, debu, mikrob yang beterbangan, partikel aerosol dan uap kimiawi. Lebih tepat lagi, sebuah kamar bersih memiliki tingkatan kontaminasi yang terkendali yang ditentukan oleh jumlah partikel per meter-kubik dan oleh ukuran partikel maksimum.
Lihat pula sunting
- Pneumatic filter
- Fabrikasi semikonduktor
- Gowning
Pranala luar sunting
- (Inggris) Intel Explanation of Cleanrooms
- (Inggris) Modular Cleanrooms 2006-03-12 di Wayback Machine.
- (Inggris) Particle Counters for Cleanrooms
- (Inggris) How to Select a Particle Counter for my Cleanroom (Article) 2006-03-11 di Wayback Machine.